ひろさき産学官連携フォーラム

微細加工・計測研究会講演会
「MEMSセンサの開発動向と応用」

「MEMS技術の最新動向」
　　東北大学大学院工学研究科附属
　　マイクロ・ナノマシニング研究教育センター（マイクロナノセンター：MNC）
　　　　教授　江刺　正喜　氏

「センサとMEMSの国際標準化動向とMEMS標準化ロードマップ」
　　帝京大学理工学部情報科学科
　　　　教授　大和田　邦樹　氏

「生体に作用する接触圧力の測定システムの開発と応用」
　　弘前大学大学院理工学研究科　知能機械システム工学専攻
　　　　准教授　笹川　和彦　氏

「血管治療用の形状記憶合金MEMSデバイスの開発」
　　弘前大学大学院理工学研究科　知能機械システム工学専攻
　　　　准教授　峯田　貴　氏

　ひろさき産学官連携フォーラム設置研究会のひとつである微細加工・計測研究会では、次世代センサ協議会東北支部と共催し、昨年に引き続き講演会を開催しました。
　当日はMEMSの世界的権威である江刺正喜教授をお迎えし、機械要素部品、センサー、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板上に集積化したデバイスを指すMEMS（微小電気機械システム）技術の最新動向についてご講演いただきました。
　さらに、帝京大学理工学部大和田教授、本学大学院理工学研究科笹川准教授、峯田准教授がそれぞれの研究成果を発表されました。
　企業並びに学内からも多くの方の出席を賜り、無事閉会することができました。
　どうもありがとうございました。