微細加工・計測技術セミナー
日時 | 平成22年1月25日(月)14:00~16:30 |
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場所 | 弘前大学 創立60周年記念会館 コラボ弘大8F「八甲田ホール」 |
内容 |
講演(14:00~15:30) 走査型プローブ顕微鏡デモ見学(15:30~16:30)
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主催 | 弘前大学機器分析センター、微細加工・計測研究会、ひろさき産学官連携フォーラム、(社)精密工学会東北支部 |
参加者 | 50名 |
マイクロ/ナノテクノロジーをベースとするものづくりでは、作製した部品や形成した薄膜の表面微細構造をナノスケールで計測評価することが不可欠になりま す。今回のセミナーでは、原子間力顕微鏡(AFM)や走査型トンネル顕微鏡(STM)の機能をもつ走査型プローブ顕微鏡(SPM)が弘前大学機器分析セン ターに導入されることを機に、SPMを用いたナノ計測技術について、装置の原理と機能を理解しながら、計測の実際について学びました。 |
2022年2月25日 更新