活動実績

微細加工・計測技術セミナー

日時 平成22年1月25日(月)14:00~16:30
場所 弘前大学 創立60周年記念会館 コラボ弘大8F「八甲田ホール」
内容

講演(14:00~15:30)
 「走査型プローブ顕微鏡によるナノ測定技術の基礎と実際」
 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
 分析応用技術部 東京応用技術課 工学博士 広瀬 龍介 氏

走査型プローブ顕微鏡デモ見学(15:30~16:30)
 弘前大学機器分析センター(コラボ弘大2F)

 


主催 弘前大学機器分析センター、微細加工・計測研究会、ひろさき産学官連携フォーラム、(社)精密工学会東北支部
参加者 50名

 マイクロ/ナノテクノロジーをベースとするものづくりでは、作製した部品や形成した薄膜の表面微細構造をナノスケールで計測評価することが不可欠になりま す。今回のセミナーでは、原子間力顕微鏡(AFM)や走査型トンネル顕微鏡(STM)の機能をもつ走査型プローブ顕微鏡(SPM)が弘前大学機器分析セン ターに導入されることを機に、SPMを用いたナノ計測技術について、装置の原理と機能を理解しながら、計測の実際について学びました。
 講演後、コラボ弘大2Fの機器分析センターに設置された走査型プローブ顕微鏡の使用について、広瀬氏より説明していただきました。